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低温・冷凍機器

 
 

冷却装置・ペルチェ関連

 
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PJ100型

 
     
 

PJ100型

 
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カタログ

 
  ・ 超精密恒温(冷却)ステージ ±1℃以下の制御/半導体プロセスなど 精密な温度制御が必要なプロセス用ステージとして  
     
  MSAファクトリーでは、ホットプレート、空気加熱、温度制御、冷却などの各種機能を組み合わせた加熱装置など貴社オリジナル装置につきましても対応いたします  
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UT40U60F型

 
     
 

UT40U60F型

 
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カタログ

 
  ・気体冷却ユニット 筐体、槽内の冷却に
・非常にコンパクトであり、小型機器への組込みあるいは
・装置の小スペース化が可能
・ペルチェ素子モジュール(ペルチェ クーラー)による冷却ユニット
・□60mm ヒートシンク搭載タイプ
 
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温度サイクルユニット

 
     
 

温度サイクルユニット

 
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  ・ペルチェ素子を用いた小型温度サイクル
ユニット
・非常にコンパクトであり、小型機器への組込みあるいは・装置の小スペース化が可能
・独自の評価システム(電子デバイス、半導体素子、MIMSデバイス、ナノテク)構築に非常に有効!
・小型化、省スペース、低価格 試験システムとして


 
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UT4040-PF・UT7070-PF-PF

 
     
 

UT4040-PF・UT7070-PF-PF

 
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カタログ

 
  ・ユニサーモはスケルトン構造型ペルチェ素子
・従来のセラミック上下固定ではなく、素子をガラスエポキシ基板に実装し、柔軟な構造を実現
・冷却、加熱の繰り返しに非常に強く、高い信頼性と長寿命が特長
・UT4040-PF:最大吸熱量(Qcmax) 60W,最大温度差(ΔTmax) 70℃
・UT7070-PF:最大吸熱量(Qcmax) 135W,最大温度差(ΔTmax) 70℃
 
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